半导体设备专利诉讼: 律师的工作从一张图纸开始

围绕边缘环这类半导体零部件的外观设计权与专利,韩国零部件企业与全球设备厂商在专利审判院和专利法院正面交锋。这是把无效与侵权握在同一只手里的律师专业领域。

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一句话概述

围绕边缘环这类半导体零部件的外观设计权与专利,韩国零部件企业与全球设备厂商在专利审判院和专利法院正面交锋。这是把无效与侵权握在同一只手里的律师专业领域。

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最后更新: 2026-02-16

一只环引发的事情

边缘环是刻蚀设备内部环绕晶圆边缘的圆形零件。它的作用是把腔体内生成的等离子体在物理上限制住,不让它扩散到晶圆之外;工艺持续运转会让它磨损,因此需要定期更换。看上去只是一件普通耗材。可就是这一个零件,让韩国的专利审判院和专利法院忙了好几年。

韩国零部件企业BCNC试图让美国设备厂商泛林集团(Lam Research)持有的两项"半导体制造装置用边缘环"外观设计注册(1026248、1026250)归于无效。专利审判院在5月认定两项设计均有效。BCNC没有就此收手,分别在7月下旬和8月上旬向专利法院提起了审决撤销诉讼。专利那一侧的战果则出现分化:BCNC针对同一对手的三项专利提出无效审判,其中两项(2182298、2254224)被判无效,一项(2646633)被维持有效。处在同样位置的韩国供应商不止BCNC一家,包括CMTX在内的多家零部件企业也对同一对手提出了无效审判。处理半导体设备与材料领域知识产权纠纷的律师,工作的地形正是如此。

无效审判与侵权诉讼从来不是两回事

这个领域的关键在于两条轨道同时推进。权利人一旦主张"你侵权了",对方就会一边在法院上争辩不构成侵权,一边向专利审判院提出无效审判,直接动摇权利本身。再加上请求确认自家产品落在权利范围之外的消极权利范围确认审判,以及权利人主动缩小权利要求以躲开无效风险的更正审判,局面会迅速变复杂。就像BCNC案中两项专利倒下、一项站住那样,结果越是分化,谈判桌上的图景就越不一样。

对审决不服,就走到专利法院。专利与外观设计的审决撤销诉讼由专利法院专属管辖(专利法第186条第1款、外观设计保护法第166条第1款);自2016年1月1日起,专利、实用新型、外观设计、商标侵权诉讼的二审也由专利法院专属管辖(法院组织法第28条之4)。也就是说,争有效性的行政诉讼与争侵权的民事二审,最终会在同一个法院相遇。因此做这行的律师必须把"这项权利能不能打掉"和"这件产品会不会落进去"放在同一个脑子里同时转。拆开来看,策略就会失准。

把图纸读得和权利要求一样细

第一项是读文件的能力。专利之争围绕权利要求的文字解释展开,靠挖掘现有技术去击破新颖性和创造性;外观设计权则不同,图纸所承载的形状本身就是权利实体。判断近似靠的是比对图形而不是比对句子,方法整个换了一套。BCNC案中两项专利倒下、两项设计存活,恰好说明在耗材零件市场上,外观设计权为什么是个难缠的对手。

第二项是技术。刻蚀工艺中等离子体如何运动,石英或硅为什么被放在那个位置,零件在什么时候因为什么原因被更换,不了解这些就看不出对方主张的薄弱处。律师不需要亲手设计设备,但必须能对工程师的解释追问下去,再把它翻译成法官读得懂的句子。第三项是协作与语言。专利代理人、企业内部知识产权人员、技术专家组成一个团队,对手若是外国企业,美国或欧洲的代理人也会加入。读英文说明书和外国判决原文是日常。

只有律师能站的位置,以及走进去的路

在韩国,这个领域里律师与专利代理人的边界相当清楚。大法院与宪法法院将专利代理人的诉讼代理权理解为限于审决撤销诉讼,不承认其在专利侵权诉讼中的代理权。换句话说,争禁令与损害赔偿的民事法庭属于律师。允许专利代理人与律师共同代理的《专利代理人法》修订讨论在国会反复出现,边界仍有移动的可能。但在当前结构下,能同时扛住无效与侵权两端的人依旧稀缺。

进入路径大体有两条。最直的一条是本科读电子电气、材料、化学工程或物理,再进法学院成为律师,然后进入律所知识产权组或企业法务团队。若出身人文社科,就得做好补技术课的准备,而能否享受这种学习,几乎就是这一行的适性测验。在韩国,具备律师资格者完成规定实务研修后可以登记为专利代理人,于是从审决撤销诉讼一路做到侵权诉讼、由一个人接续办理的组合也成立。

眼下能动手做的事比想象中朴素:把本文里的注册号输入韩国专利信息网站KIPRIS,亲自打开图纸和权利要求看一遍。当你真切感到几张描绘一只环的图,能开合一家公司的一块业务时,再判断这条路是不是你的,也来得及。

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